タングステンやマグネシウムなどのターゲットと熱電子を放出するフィラメントの間に高電圧をかけて、 熱電子をターゲットに衝突させると、 Ｘ線が放出されます。 このＸ線発生装置の仕組みについては、 Hitachi（ 日立製作所 ）のホームページ（ ＨＰ ）で解りやすく解説されています。

　　　http://www.hitachi.co.jp/products/healthcare/products-support/contents/xraybeginner/

　 上記のＨＰを見ると明らかなのですが、 発生のしくみにより２種類のＸ線が同時に放出されます。 熱電子が減速的に加速度運動することで発生するＸ線を 連続Ｘ線 と言い、 ターゲットの原子内の電子のエネルギー準位が落ちることで発生するＸ線を 固有Ｘ線 と言います。
　 熱電子の質量を m 、 熱電子の電気量を −e 、 光の速さを c 、 電圧を V 、 プランク定数を h とすると、 連続Ｘ線 の最低波長は、 h c / e V という式で表されます。 これは、 エネルギー e V と h c / ( 連続Ｘ線の最低波長 ) とが等しいことから導かれます。

　 電圧を上げると、 連続Ｘ線 の強度は 強 くなり、 最低波長は 短 くなりますが、 固有Ｘ線 の波長は変わりません。